高中頻的震源震動影響，傳統(tǒng)上是采用挖槽，做隔離溝來有效的減少震動的影響，但是實際操作起來比較麻煩，效果也不是特別的有效，已經(jīng)明顯不能滿足三坐標(biāo)設(shè)備的精度，尤其是現(xiàn)在，三坐標(biāo)精度提高，對低頻振動的影響越來越敏感。
現(xiàn)在減震器作為三坐標(biāo)的隔振已經(jīng)非常普遍。蔡司，海克斯康，文澤，思瑞等各種三坐標(biāo)的減震措施種都可以看見減震器的使用。而且減震器的安裝非常的方便，免去了傳統(tǒng)隔振的繁瑣操作。
還有一些三坐標(biāo)的使用廠家會選擇加普通的減震墊來做簡單的隔振處理，這種隔振措施在非常安靜的環(huán)境種或許可以達(dá)到設(shè)備的振動許可要求，但是，工廠內(nèi)運輸車輛的走過，或物品的跌落，都會振動值都會超過三坐標(biāo)的振動允許，造成測量的誤差，產(chǎn)生品次的誤判定。
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