主動(dòng)隔振器的應(yīng)用普及與科學(xué)技術(shù)的發(fā)展是分不開的，高放大倍數(shù)顯微鏡的需求增加，放大倍數(shù)不斷提高，催生了主動(dòng)隔振器的發(fā)展。

現(xiàn)如今原子力顯微鏡， 掃描電鏡等高倍顯微鏡可以觀測(cè)到納米級(jí)單位，由于高質(zhì)量成像要求，顯微鏡大多裝有低頻氣浮式減震器，以應(yīng)對(duì)在實(shí)驗(yàn)室或無(wú)塵室內(nèi)人員走動(dòng)及其他震動(dòng)產(chǎn)生的影響。

傳統(tǒng)的被動(dòng)隔振器，由于在自然頻率下會(huì)產(chǎn)生共振，無(wú)法應(yīng)對(duì)超低頻振動(dòng)對(duì)高放大倍率顯微鏡的影響。主動(dòng)隔振器由于可以做到無(wú)共振，因此，在顯微鏡行業(yè)的應(yīng)用跟為突出。

1/5