- [慧騰資訊]光刻機(jī)減震墊用什么材料？2024年05月14日 14:22
- 在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，光刻機(jī)作為尖端科技的代表，其精密程度決定了芯片的制造質(zhì)量與工藝水平。由于光刻過程需要極高的精度與穩(wěn)定性，任何微小的振動(dòng)都可能影響到光刻圖案的準(zhǔn)確性，進(jìn)而影響芯片性能。因此，減震措施成為保障光刻機(jī)正常運(yùn)作的關(guān)鍵因素之一。其中，減震墊作為重要的減震元件，其材料的選擇尤為關(guān)鍵。本文將深入探討光刻機(jī)減震墊所使用的材料特性、選擇標(biāo)準(zhǔn)及其在實(shí)際應(yīng)用中的表現(xiàn)。 減震墊材料的重要性 光刻機(jī)的工作原理基于高精度的光學(xué)系統(tǒng)與復(fù)雜的機(jī)械結(jié)構(gòu)，用于在硅片上蝕刻微米乃至納米級別
- 閱讀（22） 標(biāo)簽：光刻機(jī)減震墊
- [慧騰資訊]光刻機(jī)減震墊用什么材料？2024年05月13日 17:12
- 光刻機(jī)的工作原理基于光束投影，通過一系列復(fù)雜的光學(xué)與機(jī)械系統(tǒng)，將電路圖案精確轉(zhuǎn)移到硅片上。這一過程對環(huán)境條件有著極為嚴(yán)格的要求，其中，振動(dòng)控制尤為關(guān)鍵。即使是微米級別的振動(dòng)，也可能導(dǎo)致光路偏移，影響曝光精度，最終影響芯片的性能和良率。因此，減震技術(shù)成為保障光刻機(jī)穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵因素之一。 減震墊的作用與要求 減震墊作為光刻機(jī)基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)與地面之間的緩沖層，主要承擔(dān)著吸收外界振動(dòng)、隔絕低頻噪聲、維持設(shè)備穩(wěn)定性的重任。理想的減震墊材料需具備以下特性： 優(yōu)異的減震性能：能有
- 閱讀（19） 標(biāo)簽：主動(dòng)隔振器
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